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Product Center四探針電阻率測試儀/四探針電阻率儀/方阻測試儀/方阻儀/四探針電阻率測定儀
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四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量份(簡稱:主機)、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點是主機配置雙數字表,在測量電阻率的同時,另塊數字表(以分之幾的度)適時監測程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉換,更及時掌控測量電流。主機還提供度為0.05%的恒流源,使測量電流度穩定。本機配有恒流源開關,在測量某些箔層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生,地保護箔膜。儀器配置了本公司的產品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數據處理器,測量硅片時可自動行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。
2、主機能數
(1)測量范圍:
可測電阻率:0.0001~19000Ω•cm
可測方塊電阻:0.001~1900Ω•□
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續可調
量程:0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
恒流度:各檔均低于±0.05%
(3)直流數字電壓表:
測量范圍:0~199.99mV
靈敏度:10μV
基本誤差:±(0.004%讀數+0.01%滿度)
輸出電源:≥1000ΩM
(4)供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 率:12W
(5)使用環境:
溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%
無較強的電場干擾,無強光直接照射
(6)重量、體積:
主機重量:7.5kg
體積:365×380×160(單位:mm 長度×寬度×度)
備注:
等級測量時(測電阻率),度<3%
電氣測量時(測電阻),度在0.3%以內
備注:
儀器包括:主機臺;測試架(包括臺面)個;四探針頭1個
2.
氟離子濃度計/氟離子檢測儀/氟離子測試儀/氟離子計
型號:DP-MP519
●符合規范的GLP要求,具有自動校準、自動溫度補償、數據儲存、RS232輸出、時鐘顯示和能設置等化能。 |
● 有三種不同的測量模式:穩定顯示模式;定時測量模式;連續測量模式。 |
● 氟電量程: 1~6 pF (10-1 ~10-6 mol/L)。 |
● 配置電:氟離子電,參比電和溫度電。 |
● 可切換四種離子濃度單位:pX、mol/L、mg/L和ppm. |
● 儀器帶有*的產品序列號。 |
● 符合IP54防塵防濺等級,儀表插口有硅膠帽密封保護。 |
mV | 測量范圍 分辨率 準確度 | -1999.9mV ~ 0 ~ 1999.9mV 0.1mV ±0.1% FS |
氟離子 | 測量范圍 顯示單位 準確度 輸入電流 輸入阻抗 穩定性 溫度補償范圍 | 電計:(0.00~9.00)pF;配套:(1.00~7.00)pF pF、mol/L、mg/L、ppm ± 0.01 pF ≤2×10-12 A ≥1×1012 Ω ±0.01 pF/3h (0 ~ 50)℃(自動或手動) |
溫度 | 測量范圍 分辨率 準確度 | -10℃~ 110℃ 0.1℃ 5~ 60℃范圍:±0.5℃ 其余范圍:±1.0℃ |
其他參數 | 數據儲存 儲存內容 電源 通訊接口 尺寸和重量 質量和安認證 | 600組 測量值編號、測量值、溫度值、ATC或MTC狀態、測量日期、測量時間 DC9V/300mA RS232 160 × 190 × 70mm/880g ISO9001:2008, CE和CMC |
作條件 | 環境溫度 環境濕度 IP等級 | 5 ~ 35 ℃ ≤85% IP54 防塵防濺 |
1. DP-MP519氟離子濃度計電計 | 1臺 |
2. F502 型氟離子電 | 1支 |
3. 6211-M型參比電 | 1支 |
4. DP-MP500型溫度電 | 1支 |
5. 602型向電架 | 1個 |
6. 901型攪拌器 | 1臺 |
7. B628攪拌珠 | 三粒 |
8. 9V電源適配器(儀器使用) | 1個 |
9. 6V電源適配器(攪拌器使用) | 1個 |
10.RS232通訊電纜 | 1根 |
11.DP-MP519通訊軟件光盤 | 1張 |
12. 說明書 | 1份 |
13. 簡要操作南 | 1份 |
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