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數字式四探針測試儀/臺式四探針電阻率測試儀

發布時間:2014/7/16點擊次數:920

  數字(zi)式四探針測試(shi)儀/臺(tai)式(shi)四探針電阻率(lv)測試儀 型號:DP-2258C

概述
DP-2258C型數字(zi)式四(si)探(tan)(tan)針(zhen)測試儀是運用四(si)探(tan)(tan)針(zhen)測量原理測試電阻率/方(fang)阻的多用途(tu)綜合測量儀器。該儀器符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法(fa)》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單(dan)晶(jing)電阻(zu)率(lv)測(ce)定直流(liu)兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺(zang)單晶電阻(zu)率測定(ding)直(zhi)流四探針法》并參(can)考美 A.S.T.M 標準。
儀器成(cheng)套組成(cheng):由主機、選(xuan)配的四探(tan)針探(tan)頭、測試臺(tai)等分組成(cheng)。
主機主要由恒(heng)流源、分辨率ADC、嵌入式單片(pian)機系統組成(cheng)。儀(yi)(yi)器(qi)所有(you)參數(shu)設定、能(neng)轉(zhuan)換采用數(shu)字化鍵盤輸入;具有(you)零位、滿(man)度自校(xiao)能(neng);電壓電流自動轉(zhuan)換量程;測試結果由數(shu)字表頭直接顯(xian)示。本(ben)測試儀(yi)(yi)特贈設測試結果分(fen)類能(neng),zui大分(fen)類10類(lei)。
探(tan)頭選配:根(gen)據不同(tong)材(cai)料(liao)(liao)特性需要,探(tan)頭可有(you)(you)多款(kuan)選配。有(you)(you)耐磨碳化鎢探(tan)針探(tan)頭,以測試硅類(lei)半導體、金(jin)屬、導電塑料(liao)(liao)類(lei)等硬質材(cai)料(liao)(liao)的電阻(zu)率/方阻;也有形(xing)鍍金(jin)銅(tong)合金(jin)探(tan)針探(tan)頭(tou),可測柔(rou)性材(cai)料(liao)導電(dian)薄膜、金(jin)屬涂層或薄膜、陶瓷(ci)或玻璃等基底(di)上導電(dian)膜(ITO膜(mo))或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上(shang)四端子(zi)測試夾(jia)具,還可對(dui)電(dian)阻器體電(dian)阻、金屬導體的低、中值電(dian)阻以及開關類接觸電(dian)阻行測量。配探(tan)頭,也可測試電(dian)池(chi)片等箔上(shang)涂層電(dian)阻率方阻。
測試臺選配:般(ban)四探針法測試電阻(zu)率/方阻配(pei)DP-T-ADP-T-BDP-T-CDP-T-F型測(ce)試臺(tai)。二(er)探針法(fa)測(ce)試電(dian)阻(zu)率(lv)測(ce)試選DP-T-K型測試臺,也(ye)可選配DP-T-D型(xing)測試(shi)(shi)臺以測試(shi)(shi)半導體粉末(mo)電(dian)阻率,選配DP-T-G型測試臺(tai)(tai)測試橡塑材料電阻率。詳見《四探針儀器、探頭和測試臺(tai)(tai)的(de)特(te)點(dian)與選型參考(kao)》
儀器具有測量度、靈敏度、穩(wen)定性(xing)好(hao)、化程度、結(jie)構緊湊、使用簡(jian)便(bian)等特點(dian)。
儀器適用于(yu)半導(dao)體(ti)(ti)(ti)材料(liao)廠(chang)器件(jian)廠(chang)、科研單位、等院校(xiao)對導(dao)體(ti)(ti)(ti)、半導(dao)體(ti)(ti)(ti)、類半導(dao)體(ti)(ti)(ti)材料(liao)的導(dao)電(dian)性能的測試。
三、基本(ben)參(can)數
1. 測量(liang)范圍、分辨(bian)率(括(kuo)號內(nei)為可向下拓展(zhan)1個數(shu)量(liang)級(ji))
    阻(zu):10.0×10-6 200.0×103  Ω,    分辨(bian)率1.0×10-6 0.1×103  Ω
        
1.0×10-6 20.00×103  Ω,    分辨率0.1×10-6 0.01×103 Ω
率:10.0×10-6 200.0×103 Ω-cm   分辨率1.0×10-6 0.1×103  Ω-cm
        
1.0×10-6 20.00×103 Ω-cm  分辨率0.1×10-6 0.01×103 Ω-cm
方塊(kuai)電阻(zu):50.0×10-6 900.0×103 Ω/□    分辨(bian)率5.0×10-6 0.5×103  Ω/□
        
5.0×10-6 100.0×103 Ω/□  分辨率(lv)0.5×10-6 0.1×103  Ω/□
2. 材(cai)料尺寸(由選配測(ce)(ce)試(shi)臺和測(ce)(ce)試(shi)方(fang)式決定)
    徑: DP-T-A圓測(ce)試(shi)臺直接測(ce)試(shi)方(fang)式 Φ15130mm,手持方式不限(xian)
DP-T-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手(shou)持方式不限.
()度:  測(ce)試臺(tai)直接測(ce)試方式 H≤100mm,    手持方式(shi)不限(xian).
測量方位軸向、徑向均可

量程劃分及誤差等級

滿度顯示

200.0

20.00

2.000

200.0

20.00

2.000

200.0

20.00

2.000

常(chang)規量程

kΩ-cm/□

kΩ-cm/□

 Ω-cm/□ 

mΩ-cm/□

---

zui大拓展量(liang)程(cheng)

---

kΩ-cm/□

 Ω-cm/□  

mΩ-cm/□

mΩ-cm/□

基本誤(wu)差

±2%FSB

±4LSB

±1.5%FSB

±4LSB

±0.5%FSB±2LSB

±0.5%FSB

±4LSB

±1.0%FSB

±4LSB

作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W

5.外(wai)形尺寸: 245mm(長)×220 mm(寬(kuan))×95mm()

凈   重:≤1.5~2.0kg   

     

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